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化學(xué)過濾器在電子行業(yè)的應(yīng)用

發(fā)布時(shí)間：

2023-02-10

　　在集成半導(dǎo)體器件、微電子等高科技企業(yè)中，隨著產(chǎn)品工藝復(fù)雜度的增加和產(chǎn)品工藝線寬度的縮小，空氣中的氣態(tài)分子污染物(以下簡稱AMC)往往會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品良率下降和性能下降和失敗，化學(xué)過濾器起著重要作用，那么，下面一起了解下化學(xué)過濾器在電子行業(yè)的應(yīng)用!

　　國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會(huì)在SEMI F21-95和F21-1102中給出了AMC氣體的分類體系。該標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體行業(yè)的潔凈環(huán)境，規(guī)定了四個(gè)“標(biāo)準(zhǔn)范圍”：酸(MA)、堿(MB)、凝物(MC)和雜質(zhì)(MD)。

　　AMC的危害，以電路板為例：電路板常見的化學(xué)故障是表面貼裝元件的銅蠕變腐蝕和鍍銀腐蝕，含硫氣體和水分會(huì)腐蝕電路板上所有銅鍍層，由此產(chǎn)生的硫化銅會(huì)導(dǎo)致電路板蠕變，并可能導(dǎo)致相鄰支座特征之間發(fā)生短路。同時(shí)，含硫氣體能腐蝕銀，形成硫化銀;大量硫化銀的積累會(huì)產(chǎn)生機(jī)械應(yīng)力，破壞封裝的完整性，并導(dǎo)致進(jìn)一步腐蝕，直到零件中的所有銀都耗盡，導(dǎo)致開路。

　　在潔凈室中，污染不僅包括嚴(yán)格意義上的塵粒，還包括具有任何干擾作用的固體、液體、氣體、熱量、電磁等。大多數(shù)潔凈室都裝有化學(xué)過濾器或高效過濾器。它們對控制0.5微米以上的顆粒非常有效，但對小分子AMC效果不佳，過濾方式為傳統(tǒng)的物理過濾。存在二次污染的風(fēng)險(xiǎn)，需要使用化學(xué)過濾器，這與化學(xué)過濾器的工作原理密不可分。

　　化學(xué)過濾器有選擇地吸附有害氣體分子，而不是像普通過濾器那樣機(jī)械地“過濾”空氣中的異味、腐蝕性氣體、有毒氣體等雜質(zhì)。

　　化學(xué)過濾器通常采用活性炭、活性氧化鋁、離子交換樹脂等凈化介質(zhì)作為過濾材料。中建南方提供多種化學(xué)過濾產(chǎn)品，通過合理配置可達(dá)到去除污染物的效果。

　　不同行業(yè)不同場所對凈化后的氣態(tài)污染物濃度要求不同。在半導(dǎo)體、微電子等行業(yè)，使用化學(xué)過濾器可以有效去除“分子污染物”，保護(hù)敏感的電子系統(tǒng)和印刷電路板。酸性氣體和水分的影響可以提高產(chǎn)品質(zhì)量，提高產(chǎn)品成品率，保護(hù)工作人員的身體健康。